5866E_模拟橡胶密封压力式质量流量控制器

模拟橡胶密封;

流量范围:0-30000 sccm;

压力范围:7.25 psia -1450 psia FS(橡胶密封);

7.25 psia -72.5 psia FS(金属密封);

精度:±0.5% FS