5866M模拟金属密封压力式质量流量控制器

模拟橡胶密封; 流量范围:0-30000 sccm;

压力范围:7.25 psia -1450 psia FS(橡胶密封);

                7.25 psia -72.5 psia FS(金属密封);

精度:±0.5% FS

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