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产品分类:MKS质量流量控制器
PFC-60_πMFC数字低压、多种气体、多种量程金属密封质量流量控制器
数字式;
流量范围:10-30000 sccm;
最大入口压力:150 psig;
压力精度:1% of Reading;
温度精度:±2℃
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